空氣凈化方法和潔凈室的控管項目

2015-02-16 17:19:20 admin

空氣凈化方法和潔凈室的控管項目

潔凈室最主要之作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。　　

潔凈室每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。

潔凈室控管項目

1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。　　2、能防止微塵粒子之產生。　　

3、溫度和濕度之控制。 4、壓力之調節。 5、有害氣體之排除。　　

6、結構物與隔間之氣密性。 7、靜電之防制。 8、電磁干擾預防。　　

9、安全因素之考慮。　10、節能之考量。　　

潔凈室空氣凈化方法　　

1 、整體凈化：可分為層流型和湍流型。層流是指空氣由一側全面地以同速流向另一側，使室內產生的塵粒或細菌不會向四周擴散而被平推出室外，而達到好的除菌效果。　　

（ 1 ）高效過濾除菌技術：空氣潔凈主要靠高效或超高效過濾設備，向特定的環境內輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。過濾潔凈原理：①網截阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運動阻留。因此，過濾潔凈技術是一種綜合作用的結果。　　

（ 2 ）濾材結構：生物潔凈室所用濾材級別多數為高效或超高效濾材，所用濾材有：玻璃棉制濾材、高級紙漿制濾材、石棉纖維濾材、過氯乙烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。　　

2 、局部凈化　　

（ 1 ）潔凈層流罩：潔凈層流罩是醫院局部空氣凈化裝置。一般可構成垂直層流方式，四周用透明圍幕。整個罩內可保持高潔凈度（萬級至百級）空氣。這種潔凈層流罩可用于免疫功能低下病人的治療保護，所以也稱無菌病床層流罩。　　

（ 2 ）凈化操作臺：采用水平或垂直層流方式凈化箱體內的空氣，可使操作臺內凈化達到很高級別。　　

（ 3 ）靜電吸附除菌凈化技術：靜電吸附除菌是利用工業電除塵的原理，在小型化技術方面有所創新。①采用細線放電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級線裝置；②采用鏡象力荷電吸附作用。　　

目前有一種三級凈化裝置，即預過濾 - 高效過濾 - 活性炭吸附，組合式正離子靜電吸附除菌，并采用大風量空氣凈化，以保證室內空氣凈化次數，較好地解決了醫院重點部門如手術室、 ICU 、母嬰病房、血液透析室等有人情況下的空氣持續消毒問題，可使醫院室內空氣的凈化潔凈度達到 10 萬級 ~1 萬級。　　

（ 4 ）負離子凈化技術：負離子是一種帶負電的化學基團，能發生可逆性變化，存在時間極短，本身并無殺滅微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結合，形成多個顆粒凝聚變大從而迅速沉降，使空氣達到凈化的目的。空氣中負離子只有在具備某些化學性質時，如活性氧離子等，它們才具有侵害蛋白質的能力從而殺滅微生物，因此負離子對空氣凈化的能力比較有限，對空氣中微生物粒子清除率只能達到 70%~90% 。